Модуль Voltera NOVA Smart Probe содержит полупроводниковый датчик для обнаружения поверхности подложек. Он оснащён рубиновым штифтом, который является отраслевым стандартом для точных измерений контакта по 3 осям. Индивидуальная электроника для сенсоров и управления от Voltera обеспечивает бесстрессовое измерение контакта и гарантирует, что NOVA может сканировать поверхности с разрешением микрошагов.
Комплектация: