ATmega64-16AU64-Кбайт самопрограммируемой флэш-памяти, 4-Кбайт SRAM, 2-Кбайт EEPROM, 8-канальный 10-битный АЦП. Интерфейс JTAG для внутрисхемной отладки. Пропускная способность до 16 MIPS на частоте 16 МГц. Рабочее напряжение 2,7 - 5,5 Вольт.