Шассі танка Pz Kpfw 38(t) використовувалось для створення Протитанкових СУ - легких машин, озброєних потужними протитанковими гарматами. У квітні 1943 р. розпочався випуск нової моделі винищувача танків Pz.Kpfw.138 Ausf.M(Panzerjäger 38(t) für 7,5ст Рак 40/3). Озброєння його складалось із 75-мм гармати Рак 40\3 та 7.92-мм кулемета MG-37(t). Товщина лобової броні була 15 мм. Боєкомплект містив 27 пострілів. Машина вагою 10,15 тонн мала максимальну швидкість 47 км\год. На СУ встановлено б-циліндровий 4-тактний двигун Praga AC потужністю 150 к.с. Екіпаж складався із чотирьох чоловік: радист, стрілок, заряджаючий та механік-водій. Усього було випущено 975 протитанкових СУ Sd.Kfz.138 Ausf М. У 1944 р. їм присвоїли назву Мардер III. До самого кінця війни СУ на базі Pz.Kpfw. 38(t) інтенсивно використовувались на усіх фронтах.