Шассі танка Pz Kpfw 38(t) використовувалось для створення ЗСУ, так званих, зенітних танків. В кінці 1943 р. розпочався випуск зенітних танків Sd.Kfz.140(Flakpanzer 38(t) auf Sf 38(t) Ausf M). Озброєння його складалось із 20-мм гармати Flak 38. Товщина лобової броні була 15 мм. Боєкомплект містив 1040 пострілів. Машина вагою 9,7 тонни мала максимальну швидкість 48 км\год. На ЗСУ встановлено 6-циліндровийд 4-тактний двигун Praga AC потужністю 150 к.с. Екіпаж складався із п'яти чоловік: радист, стрілок, два заряджаючих та механік-водій. Усього було випущено 140 ЗСУ Sd.Kfz.140. До самого кінця війни ЗСУ на базі Pz.Kpfw. 38(t) інтенсивно використовувались на усіх фронтах.